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Controllatore di flusso di massa K1000
Il K1000 è un regolatore di flusso di massa termico ad alta precisione ed alta stabilità. La sua gamma di misurazione da 10sccm a 1000sccm, K1000A è u
Dettagli del prodotto
Vantaggi
• La parte del sensore è in lega Hash, resistente alla corrosione.
• Alta precisione del prodotto, fino al 100% ~ 25%: ± 1,0% di S.P., 25% ~ 2%: ± 0,25% F.S. Tempo di risposta rapido (≤1s)
• Il prodotto ha la funzione multi-gas multi-scala, può impostare le modifiche del tipo di gas e del flusso
• Supporta modalità di comunicazione in modalità digitale con flusso elevato (fino a 1000L)
• Prodotti con certificazione CE, RoHS
Parametri tecnici
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Modello |
K1000A |
K1000B |
K1000C |
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Specifiche del flusso (convertitore di flusso N2) |
Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM |
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Bin 2: 30 SCCM ~ 100SCCM |
Bin 6: 3SLM ~10SLM |
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60SLM 、100SLM、 |
200SLM、300SLM、 |
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Bin 3: 100SCCM~300SCCM |
Bin 7: 10SLM~ 30SLM |
Bin 8: 30 SLM ~50SLM |
150SLM、200SLM |
400SLM、500SLM |
600SLM, 1000SLM (N2, H2, Air, ecc.) |
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Bin 4: 300 SCCM ~1SLM |
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Bin 5: 1SLM ~3SLM |
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Tipo di valvola |
N/O: Normalmente aperto, N/C: Normalmente chiuso |
N/C: Tipo chiuso |
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Gamma di controllo del flusso |
2%～100%F.S. |
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Precisione |
100%～25%：±1.0% of S.P.， |
± 1% F.S. (gamma di precisione garantita 15 ~ 35 ℃) |
± 2% F.S. (gamma di precisione garantita 15 ~ 35 ℃) |
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Temperatura ambiente di lavoro |
5～50℃ |
5～45℃ |
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Tempo di risposta |
≦1sec |
≦3sec |
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lineare |
±0.5%F.S. |
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Ripetizione di precisione |
±0.2%F.S. |
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Intervalo di pressione di lavoro |
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N/O100 ~ 300KPa (3SLM ~ 10SLM) |
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50-300KPa |
N/O150 ~ 300KPa (11SLM ~ 30SLM) |
200～300KPa |
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(Ar: 100-300KPa) |
N/C100 ~ 300KPa (3SLM ~ 30SLM) |
（Ar: 250～450KPa） |
100-300KPa |
150-300KPa |
300～450kPa (H2：150～300kPa) |
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（Ar 200～3500KPa） |
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coefficiente di temperatura |
Zero:±0.1%F.S./℃ Span: ±0.1%F.S./℃ |
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Pressione di lavoro massima |
400KPa（Ar:500KPa） |
700KPa |
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Resistenza alla pressione |
1MPa |
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Tasso di perdita |
Sigillatura in metallo: 1 x 10－11Pa・m3/sec He (1×10－10atm・cc/sec He) |
Sigillazione anello di gomma: 1 × 10-7Pa・m3/sec He (1×10－6atm・cc/sec He) |
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Sigillazione anello di gomma: 1 × 10－7Pa・m3/sec He (1×10－6atm・cc/sec He) |
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Materiale di tenuta |
sigillature metalliche; gomma fluorata; Neoprene |
gomma fluorata; Neoprene |
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Forma di comunicazione |
Analogico: 0-5V DC Digitale: RS485, DeviceNet, EtherCAT |
Analogico: 0 ~ 5V DC Digitale: RS485, DeviceNet, |
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Alimentazione |
Analogico / digitale: +15VDC 50mA, -15VDC 200mA; DeviceNet：+11~+24VDC，5.5VA(5.5W) |
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Forma di giunto standard |
VCR 1/4, doppia scheda 1/4, 1,5'' W-Seal, 1,125'' W-Seal, 1,125'' C-Seal |
VCR 3/8 connettore solare, doppia scheda 3/8 connettore solare |
VCR 1/2 connettore solare, doppia scheda 1/2 connettore solare |
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Peso |
1.0kg |
3.0kg |
3.7kg |
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Scansione del codice 2D con il cellulare
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